CVD气相沉积炉

型号:CVDCJL
  • 生产产地:
  • 产品品牌:苏州力碳
  • 适用行业:
  • 产品简介:
    适用于高校、科研院所、工矿企业
产品详情

CVD气相沉积炉

发布时间 : 2020-04-06 19:18

产品描述

为了使化学应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这处CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD

开启式管式炉-工作温度:1200

炉管尺寸:φ50、φ60、φ80

温度控制器:30段高精度数字可编程温度控制器

加热区长度:440mm 

恒温区长度:150mm

功率:AC 220V 4KW

等离子射频电源

输出功率:50-500W*大可调±1

RF频率:13.56MHz的±0.0051%稳定可调

冷却:风冷

输入功率:1 KW AC 220V

真空度可达10-3torr

质量流量计-内部装有高精度数字显示

质量流量计可准确的控制气体流量

外形尺寸-炉体:550×380×520mm

供气真空系统:600×600×597mm

净重:120KG

备注:我公司可定制各种非标气氛管式炉,不同炉膛尺寸、不同温度范围内的箱式炉,气氛炉,管式炉,真空炉等。欢迎来电洽谈。

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